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多功能原位高温热台是一种实验设备,主要用于在高温环境下进行各种实验。这种热台能够提供精确的温度控制,并且具有多种功能,例如可以用来研究物质在高温下的反应、变化、合成等等。
退火炉是用于制造半导体元件的制程方法。该制程包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理旨在达到不同的效果。可以加热晶片以激活掺杂剂,使沉积的膜至密化,并改变生长的膜的状态。
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