双束扫描电镜

双束扫描电镜借助这款扫描电子显微镜的超快速度,开启您对新维度的探索。现如今,在MultiSEM出色的图像采集速度推动下,您终于能够以纳米级的图像分辨率对大型样品进行高通量快速成像。

MultiSEM专为全天候连续可靠的运行而设计。只需简单设置高性能数据图像采集工作流程,然后,在MultiSEM自行拍摄纳米分辨率的高衬度图像时,您便可以继续您的其他工作,无需实时查看着它的运行。

MultiSEM使用ZEN成像软件,让您可以直观而灵活地操控这款高性能的显微镜。自动调节程序能保证您获得出色的高分辨率数据。

双束扫描电镜更简单、更智能、更高度集成：

纳米级分辨率下的超快图像采集速度：

多条电子束平行工作,为您带来的总体成像速度。在4nm像素大小下采集1mm²的区域只需几分钟成像时间。凭借每小时超过1TB的出色成像速度,可在纳米级的图像分辨率下对大体积物体(>1mm³)的连续超薄切片样本进行成像。优化的探测器会非常有效地收集二次电子信号,为您在低噪音水平下提供高衬度图像。

适用于大型样品的电子显微镜：

MultiSEM为全天候连续运行而设计,并配备了一个可容纳10cmx10cm大小样品的样品夹。这意味着您不必再为了纳米级的图像分辨率而牺牲样品尺寸。您终于可以对整个样品进行成像,发现您所需要的一切,解答您的科学疑问。通过自动图像采集方案可实现大面积成像,您将获得细节完备的整张图像,且不会丢失宏观信息。

配备ZEN成像软件的电子显微镜：

通过将ZEN引入MultiSEM,我们将蔡司光学显微镜的标准化软件带入了电子显微镜的世界。ZEN可以让您以一种简单直观的方式操控MultiSEM。智能化自动调节程序能够支持您捕获具有高分辨率和高质量的出色图像。您可以快速轻松地设置复杂的自动图像采集流程,将其用于您的样品成像。

用于MultiSEM的ZEN还具有连续平行图像记录所需的高速度。为实现灵活快速的应用开发,它还具有一个开放的应用编程接口(API)。

MultiSEM通过采用多条电子束和检测器并行的方式实现超快的成像速度。这种方法的关键是 一个经过微调的探测路径  (红色),它能够收集大量的二次电子,用于多探测器阵列的成像 。 每条电子束在样品的一个位置执行同步扫描程序,以此获得单个子图像。电子束呈特色鲜明 的六边形排列。通过将所有子图像合并在一起,最终形成完整的图像。并行的计算机设置程 序用于快速记录数据,以保证达到的整体成像速度 。在 MultiSEM 系统中,图像采集和工 作流程控制独立,以保证充分发挥性能。

采集连续切片的补充工作流解决方案：

ATUMtome 是一款具有自动条带收集装置的超薄切片机,一天内可以收集多达 1000 个连续切片。随后,带有切片的条带被安装在硅片上 ,  可 以用带有 ZEN 成像软件和 Shuttle & Find 的蔡司光学显微镜进行成像。

您可以通过拍摄光学显微镜概览图像来设计实验,并在 MultiSEM 中使用相同的 ZEN 软件用户界面轻松浏览您的样品 。规划和设置采集工作流程 只需一个图形用户界面。自动切片检测可以支持您以非常有效的方式识别和锁定感兴趣区域。