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Win win for you and me售前售中售后完整的服务体系
诚信经营质量保障价格合理服务完善PECVD等离子沉积设备 Depolab 200是SENTECH基本的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,它结合了用于均匀薄膜沉积的平行板电极设计和直接载片的成本效益设计的优点。从2″至8″晶片和样品的标准应用开始,可以逐步升级以完成复杂的工艺。
带预真空室的化学气相沉积设备 PECVD沉积设备SI 500 PPD便于在从室温到350℃的温度范围内进行SiO2、SiNx、SiOxNy和a-Si的标准的化学气相沉积工艺。
等离子沉积设备 低刻蚀速率,高击穿电压,低应力、不损伤衬底以及在低于100°C的沉积温度下的低界面态密度,使得所沉积的薄膜具有优异的性能。