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电子束

激光光刻系统纳米加工

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品牌	其他品牌	应用领域	环保,化工,电子

具有分辨率的直接激光刻录机

PICOMASTER 是一系列直接激光刻录机，可使用单个激光束创建高分辨率结构。这款多功能、低维护的激光刻录机可为特征和光栅周期提供分辨率。用户友好的 PICOMASTER 系列为您的激光光刻挑战提供了解决方案。

具有以下功能：

单聚焦光束写入策略
分辨率低至 0.3 μm
4096级灰度光刻

即使在具有挑战性的基材上也能进行专有自动对焦
最大 8" x 8" 暴露区域
无缝合曝光

PICOMASTER 直接激光刻录机为您的微加工需求提供解决方案。

提供 405 和 375 激光源，保证 300 nm 的分辨率，因此 PICOMASTER 直接激光刻录机可产生市场上最高分辨率。这些无掩模直接激光刻录机增强了科学和工业目的的创新实力，为光子器件、微电子、MEMS、3D 光刻、光学可变器件 (OVD)、衍射光学元件等领域的研发带来了机会。

PICOMASTER 是适合您实验室的工具：

P RECISION：即使对于精细剂量也能提供高精度激光功率控制，即使在具有挑战性的样品上也能自动对焦，并且具有对准精度

解决方案：为特征和光栅提供的分辨率，特征周期低至 300 nm 以下

优化：可以通过桌面或独立系统选择、适当的激光源波长和写入模式选择来针对任何类型的应用进行优化

轮廓分析：提供高达 4096 级的灰度功能，而不影响曝光速度，实现2.5D 抗蚀剂轮廓分析

易于使用：内部设计的对齐工具和强大的用户界面支持轻松的样品处理，方便处理最常见的文件格式

降低维护成本：通过免维护运动平台和长寿命光学模块（10,000 小时）实现平稳、快速且经济高效的维护，该模块易于更换，无需上门服务

特征

解决

< 300 纳米

灰度级别

4096

激光源

405 / 37

根据您的需求优化直接激光刻录机

PICOMASTER 直接激光刻录机在可配置的平台上工作，该平台可以根据您的应用或特定实验室条件进行优化，以满足您的需求。PICOMASTER 可以是桌面或独立系统，可以针对不同类型的抗蚀剂具有不同的激光波长，并且可以为各种应用提供不同的光斑尺寸。如果需要，它可以与环境稳定装置结合使用。

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激光光刻系统

具有分辨率的直接激光刻录机

PICOMASTER 是适合您实验室的工具：

特征

解决

< 300 纳米

灰度级别

4096

激光源

405 / 37

根据您的需求优化直接激光刻录机

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