晶体硅太阳电池 SENperc PV是为PERC太阳能电池制造质量控制而设计的。它测量SiO2、Al2O3和SiNX单层膜和叠层膜，这些单层膜和叠层膜用于PERC电池(多晶硅衬底和c-Si衬底)的正面反射和背面钝化。对沉积过程的稳定性进行长时间的监测。由此，优化了维护时间间隔。